射線熒光光譜儀（XRF）是一種用于分析物質元素組成和含量的重要儀器，其工作原理基于X射線與物質相互作用產生的熒光效應，具體可分為以下幾個關鍵步驟：

1. X射線源產生初級X射線
原理：X射線源（如X射線管）通過電子轟擊靶材（如鎢、銠等）產生初級X射線。電子從陰極加速后撞擊陽極靶材，激發靶材原子內層電子躍遷，釋放出特征X射線（如Kα、Kβ線）或連續X射線（軔致輻射）。
作用：初級X射線作為激發源，用于照射待測樣品。
2. 初級X射線與樣品相互作用
光電效應：初級X射線光子與樣品原子內層電子（如K層）相互作用，將能量全傳遞給電子，使其脫離原子成為光電子。此時原子處于激發態，外層電子躍遷填補內層空位，釋放出能量較低的次級X射線（即X射線熒光）。
特征X射線的產生：不同元素的電子能級差不同，因此釋放的X射線熒光能量（波長）具有特征性，與元素種類一一對應。例如，鐵（Fe）的Kα線能量約為6.4 keV，銅（Cu）的Kα線約為8.0 keV。
3. X射線熒光的檢測與分析
探測器接收熒光信號：產生的X射線熒光被探測器（如正比計數器、閃爍計數器或硅漂移探測器）接收，轉換為電信號。
能量色散（EDXRF）或波長色散（WDXRF）：

EDXRF：直接測量熒光光子的能量，通過多道分析器（MCA）記錄不同能量的光子計數，形成能譜圖。
WDXRF：通過分光晶體將熒光按波長分散，再由探測器測量不同波長的強度，形成波長譜圖。
定量分析：根據特征峰的強度（計數率）與元素含量的線性關系，結合標準樣品校準，計算樣品中各元素的濃度。
4. 數據處理與結果輸出
軟件分析：儀器配套軟件對能譜或波長譜進行去背景、峰識別、重疊峰解析等處理，確定元素種類和含量。
結果展示：輸出元素組成、含量百分比及不確定度等信息。

關鍵點總結
激發源：初級X射線（特征或連續譜）激發樣品。
熒光效應：光電效應導致原子發射特征X射線熒光。
特征性：熒光能量/波長與元素種類直接相關。
檢測技術：EDXRF（能量分辨）或WDXRF（波長分辨）實現高精度分析。

應用場景
XRF廣泛應用于地質勘探（礦石分析）、環境監測（土壤重金屬）、材料科學（合金成分）、考古（文物鑒定）等領域，因其非破壞性、快速、多元素同時分析的優勢而備受青睞。